洁净室土建地面与墙面不平整度不大于0.1%,墙角应垂直连接。为防止墙板因累积误差而倾斜扭曲,墙板垂直度偏差不应大于0.2%。天花板须按房间宽度的方向拱起,使天花板在使用负荷时保持平。天花板的四周应与墙壁紧密相连。在安装过程中,洁净室厂家,不得将板材的表面保护膜撕去。施工过程中禁止撞击或板表面。需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽应防落积尘;粘贴前必须仔细清扫,除去杂质和油污,确保粘贴密实牢固。
目前,我国实验室洁净工程的市场需求正在往节能方向发展。毕竟洁净工程向来都是耗能大户,据数据统计显示,其耗能比普通写字楼高10-20倍。与同类型工程对比,我国洁净工程耗能也比美国高出15%。用有一定强度和刚度的表面光洁的轻质板材做成八字形风道,隔墙高2.9m,将回风滤管、过滤器安装在风道内,百叶回风口采用定型产品300×300,洁净室设计,风口中心标高为0.35m,叶片竖装,以避免百叶片上积尘。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,洁净室工程,由于加工精度越来越精细,淮南洁净室,对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,必须有±0.1度的恒温,要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
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