超纯水是指用超纯水设备或超纯水系统去除源水钙、颗粒物质、铁、锰、镁离子及吸附有机物、异味等。超纯水主要用阴阳离子交换柱和EDI设备制取。在制造处理过程后能尽可能将溶在水中或在水中散播的各种杂质除去，不含有机物、细菌、尘埃、氧化物等任何物质。超纯水能否达标，需要进行检测。
超纯水检测方法：
电导率测量：电导率测量主要是用来检测水质的纯净度，是检测水中离子杂质的一种简便、有效和可靠的方法。电导率测量仪分为实验室测量、现场测量、在线测量等几种方法。针对这项检测的理想解决方案是使用高质量的电导率电极，例如不锈钢材质的JUMOtecLine CR。
超纯水的pH检测：
测量超纯水的pH计需要用到特殊的电极，它接一个金属的接地的附件。通过接地，来增大电路的电容，从而降低了电信号的噪声。同时由于接地分流了电荷，所以使得测量信号的稳定时间增大，在某种程度上也就降低了静电双电层的强度。电极的附件还包括流动的联结点或着凝胶装填的参比电极，这可以在测量pH值时快速的在联结点两侧建立电位平衡。流过联结点的电解液偶尔会阻塞联结点，将整个测量电路放置在配件旁边，可以让待测样品的电荷释放掉，从而保持测量电极承受的压力的稳定。
超纯水检测标准:
符合国家实验室用水GB6682-2008Ⅲ级水标准；
电阻率12-17MΩ·cm25℃，水质符合国家实验室用水GB6682-2008Ⅰ级水标准纯水，符合中国国家实验室用水GB6682-2008Ⅲ级水标准。
电阻率18.25MΩ·cm 25℃，优于中国国家实验室用水规格GB6682-2008的Ⅰ级水标准。