淮南多工位电阻丝加热真空1200度密封式石英管式炉

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这款 1200℃多工位电阻丝加热密封式石英管式炉，以 Fe-Cr-Al 电阻丝加热、高纯石英管密封、多工位载样与真空 - 惰性气氛协同控制为核心，适配粉体退火、半导体掺杂、材料合成等多批次无氧实验，控温精度 ±1℃、极限真空≤5Pa、残氧可≤10ppm，以下是完整方案与定制要点：

核心性能与标准配置（可定制）

多工位 - 真空气氛核心流程（确保高效无氧）

1. 冷态抽真空至≤5Pa，保压 5-10min 检漏，确认密封无泄漏。

2. 充入 N₂/Ar 至微正压 0.02MPa，再抽真空（循环 3-5 次），将残氧降至≤5ppm。

3. 多工位载样后按程序升温，1000℃以下≤15℃/min，1000-1200℃≤8℃/min，动态通惰性气体保压 0.03MPa。

4. 保温结束后，按程序降温，600℃以下可充高纯气体快速冷却，避免样品开裂。

非标定制模块（按需加装）

1. 多工位与载样升级

• 定制 2-6 工位载样台（含石英 / 刚玉支架），支持样品同步 / 分组控温，适配不同尺寸样品。

• 加装旋转 / 平移自动送料机构，减少手动操作，提升实验效率与安全性。

2. 真空 - 气氛增强

• 双路 MFC 精准混气（N₂/Ar 比例可调），流量精度 ±1% FS，适配多元气氛工艺。

• 加装气体预热 / 除湿模块，避免低温水汽冷凝污染样品与石英管。

3. 监控与数据追溯

• 7 英寸触摸屏 + PLC，支持程序存储 / 曲线导出 / RS485 远程通讯，适配科研数据记录。

• 石英观察窗 + LED 冷光源，实时观察多工位样品状态，不影响密封性。

典型应用与选型建议

1. 应用场景

• 材料科研：粉体材料退火、纳米材料合成、半导体基片掺杂；化学实验：惰性气氛下的催化反应、气相沉积前驱体处理；批量样品：高校 / 科研院所多组平行实验、企业小批量试生产。

2. 选型要点

• 真空需求：常规无氧选双级旋片泵；高纯度实验选机械泵 + 罗茨泵组合。

• 工位数量：微量平行实验选 2-3 工位；批量小试选 4-6 工位，注意匹配恒温区长度。

• 石英管规格：管径 φ50-120mm 可选，壁厚≥3mm，避免高温变形与密封失效。

该设备采用模块化多工位设计，每个独立温区均配备高纯度石英反应管（Ø60/80/100mm可选），通过PID智能控温系统实现±1℃的精度控制。针对高温环境下材料易氧化的特性，真空系统可维持10-3Pa级工作环境，配合双层水冷法兰结构确保密封可靠性。

在具体应用层面，设备特别适用于：1）半导体材料的扩散退火工艺，通过三温区梯度加热可实现精准的杂质分布控制；2）光伏行业硅片的热处理，石英管特殊镀膜工艺能有效抑制高温硅蒸汽沉积；3）科研领域的新型陶瓷材料烧结，配备的快速淬火模块（选装）可将样品在保护气氛中急速冷却至200℃以下。

安全防护方面，系统集成多重互锁装置：当冷却水压低于0.2MPa时自动切断加热电源，过温保护模块会在炉体表面温度超过80℃时触发声光报警。可选配的远程监控系统支持实时查看温度曲线、真空度等18项参数，实验数据可通过RS485接口直接导出为CSV格式。